한택, SMIF 시스템용 웨이퍼 자동 이송장치 양산

반도체 장비업체인 한택(대표 한종훈)이 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템용 웨이퍼 자동이송장치(Sorter)인 「HAS-200M/4」를 개발,이달부터 본격 양산한다.

웨이퍼 자동이송장치는 반도체 제조의 웨이퍼 가공 공정(FAB)중 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 이를 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동 이송,정렬시켜 주는 일종의 핸들링 머신이다.

이 가운데 한택이 개발한 SMIF 시스템용 자동 이송장치는 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)및 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)등과 함께 전체 SMIF시스템을 이루는 핵심 요소로 최근 그 채용이 크게 확대되고 있는 첨단 장비이다.

특히 이번 개발된 「HAS-200M/4」는 웨이퍼 핸들링 영역의 청정도를 클래스 1 수준으로 유지토록하고 작업자의 편의를 위해 대형 LCD 모니터및 투명창을 채택했으며 스칼라 로봇을 비롯한 각종 로봇 시스템과 호환 가능하다.

한택은 이 제품을 올해 수출 주력 모델로 결정하고 최근 대만업체와 관련 대리점 계약을 체결하는 등 이달부터 본격적인 양산및 수출에 나설 방침이다.

<주상돈 기자>