[세미콘코리아98 특집] 출품작.. 밀리포아 「인라인 가스모니터」

반도체용 가스 필터 공급업체인 밀리포아코리아(대표 리카르도 팀머맨)는 반도체 제조에 사용되는 각종 고순도 가스의 수분 함유를 사전에 탐지, 제조 라인 유입을 방지하는 「인라인 가스 모니터(ILM)」시스템을 출품한다.

초소형으로 설계된 이 제품은 메탈 스퍼터링 공정 등 초고순도 가스가 요구되는 제조 라인의 가스 배관에 부착돼 유입되는 가스 순도를 측정, 일정 수준 이하일 경우 경보와 함께 그 유입을 자동으로 차단하는 센서 장치이다.

또한 이 시스템은 전체 반도체 제조 라인에 총 40개가 부착되며 이를 8개 장치씩 5개 그룹으로 묶어 원격 모니터링 가능하도록 구성돼 있다.

이와 함께 이 회사는 최근 미국 본사측이 MFC(Mass Flow Controller) 전문 업체인 타일런社를 인수하며서 출시한 MFC 신제품도 이번 전시회를 통해 선보인다. 반도체 장비용 가스유량 조절장치인 MFC는 에처, 퍼니스, CVD, 웨트스테이션 등 같은 각종 반도체 전공정 장비에 부착되는 모듈 제품으로 연간 국내 수요 물량이 3천개 이상이며 개당 가격은 최고 3백만원을 호가하는 고가 부품이다.