日 레이저텍, 0.13미크론급 웨이퍼 검사장치 개발

일본 포토마스크 검사장치업체인 레이저텍社가 반도체 웨이퍼의 회로결함을 고감도로 검사하는 장치를 개발했다.

「日本經濟新聞」에 따르면 레이저텍이 개발한 검사장치 「매직스」는 33개의 레이저빔을 활용해 최소폭 0.05미크론 수준의 결함까지 검출한다. 12인치웨이퍼의 검사처리능력은 고정밀 모드의 경우 시간당 2장, 일반 모드는 12장이다. 레이저텍은 내년 3월부터 이 장치의 판매를 시작할 계획이다.

레이저텍 관계자는 이 장치가 회로선폭 0.13미크론급 반도체까지 검사할 수 있기 때문에 『2천3년께 등장할 것으로 예상되는 기록용량 4Gb급 D램까지 대응할 수 있다』고 밝혔다.

<심규호 기자>