국산 반도체장비 품평회 개최

국산 반도체장비에 대한 인식 제고 및 제품 홍보를 위한 「97 반도체장비 품평회」가 20일 천안에 있는 한국기술교육대학 대강당에서 개최됐다.

반도체업계 및 학계와 정부 관계자들이 대거 참석한 가운데 열린 이번 행사는 케이씨텍, 한주산업 등 12개 국내 중소업체들이 지난 1, 2년동안 순수 자체기술로 개발한 각종 반도체장비들을 선보여 눈길을 끌었다.

웨트스테이션 전문 생산업체인 한주산업은 최근 그 도입이 본격화되고 있는 이소프로필알콜(IPA)증기 드라이어를 출품했으며 반도체용 칠러(Chiller) 전문 생산업체인 다산C&I는 트랙 장비에 부착되는 항온항습장치(THC:Temperature Humidity Controller)인 「FOCUS」를 선보였다.

국내 최대 애셔 생산업체인 PSK테크는 1기가 D램시대에까지 대응가능한 마이크로파 애셔 「DAS-Ⅱ」를 내놓았고 탑엔지니어링이 개발한 LOC 다이본더도 출품됐다.

이 가운데 주성엔지니어링이 선보인 64MD램용 저압 화학적 증착장비(LP CVD) 「Eureka2000」은 최근 국내 소자업체의 양산라인에까지 본격 채택되기 시작했다는 점에서 더욱 주목받았다. 웨이퍼를 낱장으로 처리하는 방식의 이 제품은 온벽(Warm Wall)타입의 체임버와 저항가열방식의 기판을 이용, 웨이퍼에 폴리실리콘 또는 나이트라이드 등의 각종 화학물질을 증착시키는 전공정용 핵심장비다.

또한 가스장비 생산업체인 케이씨텍의 반도체용 벌브 제품과 영신엔지니어링이 개발한 전계효과(MOS FET) 트랜지스터 방식의 RF 제너레이터는 장비 부품 개발의 중요성을 다시 한번 확인시켜주는 좋은 계기가 됐다.

특히 이번 행사에는 최근 설립된 반도체장비기술교육센타(SETEC)의 개소식도 함께 열려 반도체장비 국산화를 위한 새로운 계기를 마련한다는 「장비 품평회」의 의미를 더욱 빛나게 했다.

<주상돈 기자>