프로브 시스템 국내 생산 활기

반도체 웨이퍼 및 LCD 패널 검사에 사용되는 프로브 시스템의 국내 생산이 활기를 띠고 있다.

13일 관련 업계에 따르면 최근 동경엘렉트론코리아, 디아이 등이 최근 웨이퍼 프로브 시스템 관련 국내 생산 설비를 갖춘데 이어 평창하이테크산업도 24인치 박막트랜지스 액정표시장치(TFT LCD)용 프로브 장비를 업계 최초로 개발, 이달부터 본격 생산한다.

국내 주요 반도체 장비 업체들이 이처럼 프로브 시스템 관련 시장에 잇따라 참여하고 있는 것은 반도체 웨이퍼 및 LCD 패널의 대형화 추세와 함께 이의 전기적 신뢰성을 검사하는 프로브 장비 수요도 크게 늘어날 것으로 전망되기 때문이다.

또한 과거 완성된 칩에서 수행되던 각종 검사 항목들이 웨이퍼 단계로 이전되면서 전체 테스트 공정에서 차지하는 프로브 검사 비중이 갈수록 높아지고 있는 것도 국내 생산 활성화의 한 원인이라고 업계 관계자들은 분석하고 있다.

동경엘렉트론코리아는 그동안 전량 수입, 공급해온 웨이퍼 프로브 시스템의 자체 생산 및 국산화를 적극 추진키로 하고 최근 성남 아파트형 공장에 연간 60대 생산규모의 웨이퍼 프로브 장비 생산공장을 건설, 본격적인 국내 생산에 착수했다. 또한 현재 경기도 용인시에 건설중인 자체 사옥 건물에 프로브 생산 설비를 별도로 마련할 계획이며 상무급 엔지니어를 팀장으로 한 개발 추진팀을 구성, 프로브 시스템 생산 기술의 국내 이전도 적극 추진중이다.

번인 테스터 생산 업체인 디아이도 최근 일본 동경정밀(TSK)과 기술 제휴를 맺고 연간 2백50대 규모의 웨이퍼 프로브 생산 설비를 구축, 본격적인 장비 생산에 착수했다.

이 회사는 웨이퍼 프로브 시스템에 이어 LCD용 프로브 장비도 연말까지 개발, 출시할 방침이다.

프로브 카드 전문 생산업체인 평창하이테크산업은 최대 24인치 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)에까지 적용할 수 있는 화상 검사용 자동 프로브시스템을 국내 최초로 개발하고 이달부터 연간 40대 가량을 생산해 나갈 계획이다.

이밖에 측정 장비 전문업체인 창민테크놀러지도 웨이퍼 및 LCD 패널의 박막저항률 측정에 사용되는 4포인트 프로브 시스템을 개발, 본격적인 공급을 추진중이다.

<주상돈 기자>