밀리포아코리아, 인라인 가스 모니터 시스템 선봬

반도체용 가스 필터 공급 업체인 밀리포아코리아(대표 리카르도 팀머맨)는 반도체 제조에 사용되는 각종 고순도 가스의 수분 함유를 사전에 탐지, 제조 라인 유입을 방지하는 「인라인 가스 모니터(ILM)」 시스템을 본격 출시한다.

초소형으로 설계된 이 제품은 메탈 스퍼터링 공정 등 초고순도 가스가 요구되는 제조 라인의 가스 배관에 부착돼 유입되는 가스 순도를 측정, 일정 수준 이하일 경우 경보와 함께 그 유입을 자동으로 차단하는 센서 장치이다.

또한 이 시스템은 전체 반도체 제조 라인에 총 40개가 부착되며 이를 8개 장치씩 5개 그룹으로 묶어 원격 모니터링 가능하도록 구성돼 있다.

<주상돈 기자>