반도체 장비업계, 환경규제 강화 「발빠른 대응」

미국 유럽 등 선진국을 중심으로한 반도체 관련 환경 규제 움직임에 대응해 국내 주요 반도체 장비 업체들이 관련 국제규격을 조기 획득하는 동시에 기존보다 오염 발생을 획기적으로 줄인 신개념의 장비를 잇따라 선보이고 있다.

6일 관련업계에 따르면 지난달 반도체용 테스트 핸들러 생산업체인 미래산업과 가스 관련 장비 업체인 케이씨텍은 최근 ISO14001국제 환경규격을 획득했으며 나노하이텍, 피에스케이도 관련 인증 획득을 추진하고 있는 등 환경규격 인증이 국내 장비업체들 사이에 급속히 확산되고 있다. 신성이엔지, 정일이엔씨 등 국내 주요 클린룸 업체들도 최근 클린룸 관련 환경 측정 및 표준 제정을 위한 세계 기술위원회인 「ISO/TC 209」 회의를 국내 개최하는 등 클린룸 관련 세계 환경 표준 제정에 적극 참여하고 있다.

어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)는 반도체 제조 과정의 절연막 증착시 발생하는 지구 온난화 유발 물질인 과불화화합물(PFC)을 최소화 시킬수 있는 원격 플라즈마 세정(Remote Plazma Clean) 기술을 업계 최초로 개발했다.

한국DNS, 한양기공, 피케이등 국내 주요 웨트 스테이션 생산 업체들은 기존보다 화학 약품 사용량을 절반이하로 줄인 베치 타입 장비를 잇따라 출시하고 있으며 다산C&I, 코삼 등 주요 온조조절기(Chiller) 생산 업체들도 프레온 가스 방출이 전혀 없는 열전 소자(THC) 칠러를 속속 선보이고 있다.

이와함께 한국MAT, 한국파이오닉스, 텔라텍코리아, 한양엔지니어링 등 국내 주요 장비 업체들은 지구 온난화를 유발하는 과불화 화합물(PFC)의 정화처리 설비인 가스 스크러버 시장에 잇따라 진출할 계획이다.

한편 반도체 유독 가스로 인한 지구 환경 파괴 문제가 최근 「국제 반도체 환경 안전 회의」의 주요 이슈로 상정되는 등 선진국을 중심으로 이에 대한 규제 움직임이 점차 가시화되고 있다.

<주상돈 기자>