반도체장비업계, 가스 스크러버시장 참여 잇따라

반도체장비업체들이 반도체 생산과정에서 발생하는 각종 유독가스 정화 처리설비인 배관용 가스 스크러버 시장에 잇따라 진출하고 있다.

18일 관련업계에 따르면 한국파이오닉스, 한국MAT, 유니온산업, 성원에드워드 등 5∼6개 업체가 이미 반도체용 가스 스크러버의 본격적인 국내 생산에 착수한 가운데 최근 델라텍코리아, 한양엔지니어링, 다산C&I 등 업체도 외국과 기술 합작, 국내 생산을 추진하는 등 이 시장 진출을 가시화하고 있다.

단순 공급업체를 포함하면 총 10여개 업체가 국내 가스 스크러버 시장에 참여하게 될 것으로 예상되며 번인(Burn In) 및 웨트(Wet), 드라이 방식 등 다양한 형태의 스크러버가 올 연말을 기점으로 대거 선보일 전망이다.

이처럼 국내 업체들의 스크러버 시장 참여가 잇따르고 있는 것은 최근 들어 프레온, 과불화화합물 등과 같은 각종 유독가스 발생에 대한 세계적인 규제 움직임이 점차 가시화되는 가운데 이를 정화 처리하는 시설인 가스 스크러버에 대한 수요도 크게 증가하고 있기 때문으로 풀이된다.

미국 델라텍사의 한국 현지법인인 델라텍코리아는 최근 스크러버를 본격적으로 생산하기로 지난 8월 성남시 분당구 아파트형 공장에 양산라인을 설치한 데 이어 이달부터 번인과 웨트 타입 등 2가지 방식을 동시에 처리하는 최신 스크러버를 본격 생산할 계획이다.

반도체용 칠러(Chiller) 전문생산업체인 다산C&I는 미국 에코시스사와 합작, 국내 생산을 추진한다. 이 회사의 기술 합작처인 에코시스는 번인, 웨트, 드라이 방식 등의 가스 스크러버 제조기술을 보유하고 있으며 최근 한국 반도체 생산업체의 외국 현지공장에 스크러버 관련 설비를 공급키로 하는 등 스크러버 분야의 세계 선두업체인 것으로 알려졌다.

반도체용 플랜트 시공업체인 한양엔지니어링도 지난 7월 독일 CS 및 일본 도모에쇼카이社와 합작으로 「CSK」를 설립, 국내에서 드라이 방식 스크러버를 본격적으로 생산키로 했다.

이와 함께 지난해 이 시장에 진출한 한국MAT는 현재 가동중인 충남 천안공장 인근에 1천평 부지의 제2공장을 건설, 현재 월 30대인 생산생산 능력을 50대 이상으로 늘릴 방침이며 알카텔진공코리아, 한국파이오닉스, 성원에드워드 등 기존 업체들도 생산품목 및 설비 확대를 고려중인 것으로 알려졌다.

이러한 스크러버시장 진출 붐과 관련, 업체의 한 관계자는 『이미 10여개 업체가 이 시장에 진출했거나 현재 준비중이고 그린라운드 등 환경 문제에 대한 관심은 계속 높아질 것이 확실시 되므로 향후 가스 스크러버는 국내 반도체 장비들 가운데 가장 치열한 시장 쟁탈전이 예상되는 품목 중의 하나』라고 말했다.

<주상돈 기자>