플라즈마 응용기술개발 활기

플라즈마(Plasma)를 이용한 차세대 신소재 및 반도체 공정 기술 개발이 활발하다.

1일 연구계에 따르면 출연연, 기업부설연구소, 대학연구소 등은 산학연 공동연구과제로 고체, 액체, 기체와 구별해 제4의 물질로 분류되는 플라즈마의 독특한 성질을 이용, 다이아몬드 헤드드럼 등 신소재와 초고집적 반도체 공정에 필요한 식각기술 개발에 적극 나서고 있다.

지난해말 플라즈마 기술센터를 설립한 후 금속 표면처리 기술 개발에 주력하고 있는 고등기술연은 올해 말까지 「핫 월(hot wall)방식의 이온질화 장치」 개발을 목표로 현재 독일 부라운쉬바이대, 일본 이화학연구소 등과 국제 공동연구를 수행하고 있으며 한국전기연구소도 플라즈마를 이용한 「전자빔 여기 엑시머 레이저」 개발에 주력하고 있다.

서울대 전기공학부 소속 플라즈마 연구실은 플라즈마를 이용한 고집적 반도체 식각기술과 21세기초에 각광받게 될 HDTV용 플라즈마 디스플레이관련 기초기술 개발에 나서는 등 플라즈마 응용기술 개발에 주력하고 있다.

오리온전기, LG전자 등 산업계에서도 차세대 평판 표시장치로 최근 급부상하고 있는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 연구가 활발한데 오리온전기는 이미 42인치 벽걸이형 TV용 PDP를 개발, 내년 3월부터 양산할 계획이며 LG전자도 40인치 PDP를 오는 2000년부터 양산할 방침인 것으로 알려졌다.

한국과학기술연구원은 최근 대우전자와 공동으로 개발한 원형 플라즈마로 코팅한 다이아몬드 헤드 드럼을 생산한 결과 제품의 수명 등 성능이 2배 이상 향상된 반면 생산원가는 3분의 1 이하로 낮춘 VCR 제품을 개발하는 등 큰 성공을 거둔 것으로 평가됐다.

고등기술연 이근호 책임연구원은 『플라즈마의 응용 분야가 반도체와 신소재 분야 외에도 인공관절, 폐기물처리 등 의용공학 및 환경 기술 분야 등으로 확대될 것』이라며 이에 대한 관련 연구가 더욱 활발해질 것으로 전망했다.

한편 고등기술연은 오는 5일부터 9일까지 5일간 용인 연구센터에서 유럽과 아시아지역 관련 연구자 3백여명을 초청, 「플라즈마 응용기술의 성과 전망」을 주제로 한 국제학술대회를 개최할 예정이다.

<서기선 기자>