성원에드워드, 반도체 가스 · 장비시장 참여

드라이 진공펌프 전문생산업체인 성원에드워드(대표 김중조)가 반도체 제조용 특수가스 및 가스공급장비 시장에 본격적으로 참여했다.

성원에드워드는 지난 6월 합작처(지분 70%)인 영국 BOC그룹이 사업구조를 조정, 반도체 관련사업을 단일조직화함에 따라 그동안 주력해온 진공펌프 사업 이외에 가스 및 가스공급장비의 국내 생산과 판매도 병행 추진하게 됐다고 4일 밝혔다.

이에 따라 이 회사는 최근 별도의 사업추진팀을 구성, 본격적인 영업에 착수했으며 이미 영국 웨일스 지역에 건설중인 LG반도체 공장의 가스 및 가스 관련장비를 일괄 공급키로 LG측과 계약을 체결했다고 덧붙였다.

성원은 우선 합작처의 관련장비를 국내에 공급하는 한편 가스 관련장비의 본격적인 국내 생산을 위해 총 1백억원을 투자, 현재 천안 제3공단 지역 4천5백평의 부지에 가스 저장설비 및 가스 관련장비 전용 생산공장을 건설중이다.

성원은 이 공장에서 반도체 제조공정에 사용되는 산소, 질소, 아르곤 등 각종 가스와 이의 압력 및 온도를 조절 공급해주는 VMB(Valve Manifold Box) 시스템 등의 가스 관련 캐비닛 장비들을 주력 생산할 방침이다. 또한 반도체 제조과정중 가스의 생산과 공급, 그리고 배출 및 처리에 이르는 각종 가스 관련공정을 네트워크를 통해 일괄적으로 조정 감시할 수 있는 CMS(Central Monitering System) 설비의 공급도 추진할 계획이다.

김중조 사장은 『이들 가스 공급 및 조절 장비는 그동안 주력해온 드라이 펌프 및 가스 스크러버 장비와 함께 서브 FAB 설비를 이루는 주요 장비』라고 설명하고 앞으로 반도체 생산라인의 서브 FAB 관련설비를 일괄 수주하는 형태로 국내 영업에 본격적으로 나설 방침이라고 밝혔다.

<주상돈 기자>