日, 반도체 제조장비 증산 "붐"

일본 반도체 제조장비업체들이 미국과 대만 반도체업체들을 중심으로 장비 수요가 확대되고 있다고 판단, 일제히 증산에 나섰다.

「日本經濟新聞」의 최근 보도에 따르면 니콘, 도쿄일렉트론, 어드밴테스트가 새 공장을 건설할 계획인 한편 캐논, 고쿠사이전기도 기존 공장설비를 확충할 방침이라고 발표했다.

이들 일본 장비업체는 메모리 시황의 악화로 주요 수요처인 일본과 한국업체이 설비 투자를 억제하고 있어 장비시장의 본격적인 회복에는 다소 시간이 걸릴 것으로 분석하면서도 미국과 대만업체들의 적극적인 설비투자 추세를 감안해 이같은 결정을 내린 것으로 알려졌다.

이들은 특히 올해를 기점으로 지금까지 일본과 한국시장에 의존하던 수요구조에 변화가 올 것으로 판단하고 있다.

스테퍼 분야 최대업체인 니콘은 사이다마현 구마다니시 공장부근 유휴지에 총 80억엔을 투자, 최첨단 엑시머 레이저 스테퍼 양산 공장을 건설한다. 이를 통해 니콘은 자사 총 생산능력을 현재의 연 2백대에서 5백대로 확대할 방침이다.

또 2위 업체인 캐논은 도치기현 최첨단 스테퍼 생산공장에 약 1백 40명의 종업원을 신규채용,라인 가동률을 높임으로써 올해안에 생산능력을 20%정도 늘릴 계획이다.

도쿄일렉트론은 생산 자회사인 도쿄일렉트론규슈를 통해 구마모토현에 약 10만평방미터의 토지를 확보하고 반도체제조에 필요한 약품을 도포, 현상하는 코트, 디벨로프장비 생산공장을 올해안에 착공키로 했다.

이 회사는 내년 봄부터 가동에 들어가 현재 월 70대인 생산규모를 내년 중에 월 1백대규모로 늘릴 방침이다.

테스터 분야 최대업체인 어드밴테스트는 군마현 군마공장을 확장해 로직IC와 고속메모리를 실험하는 데스터장비의 생산능력을 내년 초까지 20% 확대하는 한편 사이타마현 오도네공장 옆에 테스터에 IC를 자동 공급하는 반송장비 공장을 새로 건설한다.

또 성막장비업체인 고쿠사이전기도 후지야마현 후지야마공장의 설비확충을 검토 중에 있다.

지난해 여름 이후 16MD램 시황이 급속히 악화되면서 반도체제조장비 수주는 뚜렸한 감소세를 보여왔다. 그러나 최근 미국업체들이 최첨단 마이크로프로세서(MPU)의 개발과 양산을 위해 투자를 계속하고 있고, 한국, 미국, 일본 등으로부터 D램과 로직IC를 위탁생산하는 대만업체들이 라인 증강에 박차를 가하고 있어 올해 이후 장비시장이 획복세로 돌아설 것이라는 예측도 나오고 있다.

<심규호 기자>