서울일렉트론, 연구용 미니 퍼니스 수출 본격화

반도체 장비 업체 서울일렉트론(대표 채인철)이 연구용 미니 퍼니스 「SMF-800」의 본격적인 수출에 나선다.

최근 시화공단내 아파트형 공장에 반도체 장비 양산 라인을 구축한 이 회사는 월 10대 이상의 퍼니스 장비를 생산, 미국 현지 판매법인인 ORB社를 통해 미국 및 중국 시장에 본격 수출할 방침이라고 28일 밝혔다.

이 회사가 자체 개발한 2백㎜ 웨이퍼용 미니 퍼니스 「SMF-800」은 기존 아날로그형 장비를 디지털화한 수평형 제품으로 메모리 또는 비메모리 소자의 시험 제작에 적합해 최근 해외의 대학 및 기업 연구소로부터 주문 의뢰가 크게 늘고 있다고 회사측은 설명했다.

이에 따라 이 회사는 이 장비를 본격 생산하는 한편 연말까지는 3백㎜ 웨이퍼용 퍼니스도 출시, 올해 2백만 이상을 해외에 수출할 방침이다.

최근 코스닥 시장에 등록한 서울일렉트론은 반도체장비 부문에서 퍼니스 장비의 생산 및 판매외에도 미국 ADE社의 웨이퍼 검사 장비와 테갈社의 에처를 국내에 공급중이다.

<주상돈 기자>