MFC 국내 개발·생산 차질

반도체 장비용 가스유량 조절장치인 MFC(Mass Flow Controller)의 국내 개발 및 생산이 당초 기대와 달리 여전히 미흡한 수준에 머무르고 있다.

1일 관련업계에 따르면 지난 94년 이후 타일런제너럴, 유니트, 에스텍 등 세계적인 MFC 생산업체들이 국내 반도체장비 업체와 합작형태로 잇따라 한국에 진출, 이 제품의 개발 및 국내 생산이 활기를 띨 것으로 기대됐으나 대부분 합작추진이 무산됐거나 합작선과 결별, 단독투자법인 형태로 남아 MFC의 개발 및 생산보다는 미국 및 일본 본사가 국내에 공급한 MFC의 유지보수나 노후장비의 교체를 위한 소규모 생산에 머무르고 있는 실정이다. 이처럼 MFC 장비의 개발 및 국내 생산이 활성화되지 못하고 있는 것은 이 제품의 주수요처인 에처 및 CVD 같은 전공정장비 생산업체가 국내에는 드문 데다 어플라이드, 램, TEL과 같은 세계적인 전공정장비 업체들의 국내 지사들도 MFC를 본사에서 공급받고 있어 이 제품의 실제 국내수요는 극히 미미하기 때문으로 풀이된다.

지난 94년 한양엔지니어링과 합작으로 국내에 진출했던 미국 타일런제너럴社는 지난해 한양엔지니어링과의 합작 관계를 청산하고 단독 투자 법인 형태의 「TG코리아」를 설립, 현재 본사 제품의 A/S 및 국내 장비업체가 요구하는 소규모 물량의 생산에 치중하고 있다.

미국 유니트와 에스텍社 또한 지난 94년 각각 태산엔지니어링 및 태원상사 등과 합작 회사 설립을 추진했으나 현재 두 회사 모두 단독 투자의 대리점 형태로 남아 있고 일본의 닛폰제너럴이 1백% 투자한 아에라코리아도 MFC의 자체생산 보다는 본사 제품의 A/S 쪽에 영업 중심을 두고 있다. 한편 유니트와의 합작에 실패한 태산엔지니어링은 미국의 또다른 MFC 전문업체인 DXL사와 기술제휴,이 제품의 개발 및 국내생산을 추진중인 것으로 알려졌다.

반도체 장비용 가스유량 조절장치인 MFC는 에처,퍼니스,CVD,웨트스테이션 등과 같은 전공정 장비에 부착되는 일종의 모듈 제품으로 연간 국내 수입되는 물량만도 3천개 이상이며 값은 개당 최고 3백만원을 넘는 고가 부품이다.

<주상돈 기자>