주성엔지니어링, LP-CVD 양산용 출하

국내 업체가 개발한 전공정 반도체장비의 하나인 CVD장비가 국내 반도체업체의 양산라인에 처음으로 채택됐다.

반도체장비 업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 지난해 개발한 저압기상 화학적 증착장비(LP-CVD)인 「Eureka2000」을 그동안 삼성, LG, 현대 등 국내 주요 소자생산업체에 총 6대를 공급했으며 이 가운데 최근 납품한 2대는 시험 및 연구용이 아닌 실제 양산라인에 채용됐다고 7일 밝혔다.

CVD, 에처 등과 같은 반도체 전공정용 핵심장비 분야에서 국내 업체의 제품이 실제 양산용으로 채택되기는 이번이 처음이다.

더우기 이 회사가 최근 양산용으로 공급한 LP-CVD는 ASM, 고쿠사이, 어넬바 등 세계 유수의 LP-CVD 생산업체들도 아직까지 양산용으로는 공급하지 못하고 있는 반구형 결정 실리콘(HSG: HemiSpherical Grain)방식의 새로운 증착장비여서 이 분야의 국내외 시장 선점에 유리한 입장에 서게 됐다.

커패시터 내의 폴리실리콘막(전극)을 돌기 형태로 만들어 주는 HSG 방식의 증착 공정은 평탄화한 기존 상태보다 고유전체의 주입 면적을 최대화할 수 있는 장점으로 인해 최근 반도체 제조공정의 미세선폭화 추세와 함께 그 도입이 점차 확대되고 있는 새로운 공정 형태다.

주성엔지니어링은 이에 따라 총 30억원을 들여 최근 완공한 경기도 광주 신공장의 본격적인 가동을 위해 장비이전 및 대규모 인력확충에 나서는 한편 하반기까지는 고유전막 CVD와 3백밀리(12인치) 웨이퍼용 LP-CVD도 개발할 방침이다.

황철주 사장은 『올 하반기부터 본격화할 것으로 예상되는 HSG 공정용 LP-CVD 시장에서 연말까지 총 10대 이상의 장비를 공급, 국내 시장의 70% 이상을 점유하는 것을 목표하고 있으며 이같은 여세를 몰아 미국, 일본 등 해외시장 진출을 위한 현지 법인 설립도 추진할 계획』이라고 밝혔다.

지난 93년 설립된 주성엔지니어링은 LP-CVD를 개발한 작년에 83억원의 매출을 올린데 이어 본격적인 양산용 제품이 출하되기 시작한 올해는 4백50억원의 매출을 목표로 하는 등 국내 전공정 반도체장비 업체들중 가장 빠른 성장세를 보이고 있는 벤처기업이다.

<주상돈 기자>