TFT LCD 업계, 마스킹공정 축소 경쟁

박막트랜지스터 액정디스플레이(TFT LCD)업계가 마스킹 공정 축소경쟁을 벌이고 있다. 이는 유리기판상에 TFT를 형성시키는데 필요한 마스킹 공정을 축소하는 것이 곧바로 비용 절감과 TFT 제조시간 단축,수율 향상,생산성 제고 등으로 이어지기 때문이다.

삼성전자는 지난해 하반기에 세계 처음으로 TFT 제조에 사용하는 마스크를 5장으로 줄인 공정을 개발하는데 성공,생산성을 40%까지 높였다. 이 회사는 작년 상반기까지만도 TFT 제조를 위해 9장의 마스크를 사용해 노광과 현상을 9단계 반복해야했던 것을 자체적인 마스크 설계와 노광 및 현상작업의 개선을 통해 4단계나 축소시켰다.

도시바,샤프,NEC 등 일본업계도 최근 마스킹 공정을 6∼5단계로 줄이는데 성공한 것으로 알려지고 있다. 일본업체들은 지난해까지 7장의 마스크를 사용해 7단계의 마스킹공정을 적용해왔으나 삼성전자의 마스크공정 축소에 자극받아 최근 1∼2단계를 줄일 수 있는 공정을 실현한 것으로 전해지고 있다.

LG전자도 그동안 9단계의 마스킹 공정을 적용해왔으나 마스크 설계팀과 TFT 제조팀의 공정혁신작업으로 3단계를 축소시키는데 성공,이달부터 TFT 공정에 6장의 마스크를 사용키로 함으로써 생산성을 30% 높이게 됐다고 밝혔다.

<유성호 기자>