반도체·LCD 외관 검사장비 출시 붐

반도체 및 LCD 제조 과정중 IC 패키지의 표면 결함과 액정 화면의 화상 검사에 사용되는 비젼시스템 관련 검사장비의 개발 및 출시가 잇따르고 있다.

26일 관련업계에 따르면 최근 해태전자가 1차원 및 3차원 검사시스템에 대한 토털솔루션을 갖추고 이 사업을 대폭 강화한데 이어 동화국제상사 및 건아기전도 일본 전문업체들과의 기술제휴를 통해 반도체 및 LCD용 외관검사장비 시장에 본격 진출했다. 이와함께 평창하이테크, 한택, 미래산업, 디아이 등 국내 주요 반도체 장비업체들 또한 LCD용 자동 화상검사 시스템과 스크래치 테스터의 개발 및 출시를 서두르고 있는 등 반도체 및 LCD 외관 검사 장비시장 참여붐이 일고 있다.

지난 94년 AISI社와의 2차원 비젼시스템 관련 기술제휴를 통해 이 사업에 참여한 해태전자는 지난 연말 미국 서보로봇 및 일본 나가세산업과 각각 3차원 또는 1차원 검사시스템 개발에 대한 추가 기술협약을 체결하는 등 이 부문 사업을 대폭 강화하고 있다. 이 회사는 이를 통해 LCD는 물론 TSOP, BGA, 플립 칩 등 각종 첨단 반도체 패키지에까지 대응할 수 있는 토털솔루션을 갖추고 반도체 및 LCD 생산 업체를 대상으로 일괄수주 형태의 비젼시스템 영업에 주력할 방침이다.

그동안 일본 어드반테스트의 각종 반도체 장비들을 국내 공급해온 동화국제상사는 최근 일본 히타치 및 라이온社와 비젼시스템 관련 기술협약을 체결하고 반도체, CRT, LCD 등의 외관 및 문자 검사에 사용되는 마이크로 이미지 프로세서 「MIT-75」와 독립형 비주얼 스캐너 「SE-24」의 국내 공급에 착수했다.

교통관제시스템 전문업체인 건아기전은 반도체 검사장비 시장 진출을 선언하며 자체 개발한 화상처리기술과 일본 큐슈일렉트로닉의 장비생산기술을 결합,반도체의 와이어본딩 작업 후 결함을 점검하는 본딩 워처 및 1024x512 화소의 고속 컬러 화상처리장비의 본격작인 공급에 나섰다.

국내 반도체장비 업체들의 LCD 검사장비 시장 진출도 잇따르고 있다.

지난해 프로브 카드 전문업체인 평창하이테크가 3천핀대 일괄 프로브 유닛을 채용한 LCD용 패널 자동 화상검사 시스템을 출시한데 이어 올해 한택이 일본 구보텍과의 기술 제휴를 통해 CCD 카메라를 이용한 초정밀 대형 화면용 표면 화상 검사시스템을 개발,이 시장에 참여했다. 또한 테스트 핸들러 전문업체인 미래산업과 번인 테스터 생산업체인 디아이도 각각 컴퓨터 모니터링 방식의 LCD 자동 검사장비와 스크래치 및 컬러필터 검사기의 개발을 서두르고 있어 반도체 및 LCD 외관검사 장비 시장 참여업체는 더욱 늘어날 전망이다.

<주상돈 기자>