한국DNS, 종합 도포.현상기 개발

반도체장비 업체인 한국DNS(대표 김광교)는 6인치 및 8인치 웨이퍼에 적용할 수 있는 종합 도포 및 현상기 「SK-W80B」를 개발, 본격적인 양산에 착수한다.

반도체 제조공정의 사진제판 과정중 웨이퍼에 감광수지(Photo Resist)를 도포하고 회로패턴을 노광시킨 후 이를 다시 현상시키는 데 사용하는 이 장비는 중압집중 제어방식을 채택, 연속적인 웨이퍼 처리 및 반송이 가능하고 자동세정 기능을 갖춰 웨이퍼의 이동에 따른 오염을 최소화 했다.

DUV 노광공정에도 적용가능한 이 제품은 회전 스피너(Spinner)의 최대속도가 6천에 이르며 자동 약품온도 제어시스템을 채용해 두께 편차 20Å 이하의 균일한 도포능력을 지닌다. 또한 새로운 감광수지 도포방식을 도입, 재료소비량과 제품면적을 획기적으로 줄였으며 사용자의 요구에 따라 세정시스템 및 스테퍼와의 인라인화도 가능하다.

<주상돈 기자>