디아이, 웨이퍼성능 검사장비 국산화

번인 테스트장비 전문업체인 디아이(대표 박원호)가 웨이퍼 프로버 자동화장비 및 각종 테스터의 국산화를 통해 자체 생산장비의 비중을 대폭 확대한다.

이 회사는 최근 일본 동경정밀과 기술제휴를 맺고 반도체 제조공정 중 웨이퍼의 성능검사에 사용되는 웨이퍼 프로버 자동화장비의 자체 생산을 시작한 데 이어 올 하반기까지는 메모리 및 LCD용 테스트장비를 비롯해 스크래치 테스터, 컬러필터 검사기, LCD 프로버 등도 직접 생산할 계획이라고 15일 밝혔다.

이를 위해 디아이는 연간 2백50대 규모의 웨이퍼 프로버 생산시설을 갖추고 올해부터 본격적으로 양산하는 한편 반도체 및 LCD용 테스터의 생산기술 확보를 위해 올해 연구개발비를 25억원으로 지난해보다 1백% 이상 늘릴 방침이다. 또한 이 회사는 2백56MD램 이상의 반도체 제조에 필수적인 X선 스테퍼의 생산기술도 내년 하반기까지 확보한다는 방침 아래 미국 SAL社에 1백50만달러를 투자한 것으로 알려졌다.

<주상돈기자>