日 東京일렉트론, 美서 반도체제조장비 증산

일본 東京일렉트론이 미국에서 반도체제조장비를 대폭 증산한다.

「日本經濟新聞」의 최근 보도에 따르면 東京일렉트론은 오스틴과 보스톤 인근에 공장을 신설, 미국시장용 반도체제조장비 생산을 강화할 계획이다. 東京일렉트론은 오스틴의 새공장을 통해 반도체제조 前공정에 사용하는 감광제의 도포, 현상장비를 생산할 예정이다. 이 공장의 착공시기는 내년 3월로, 오는 98년 초부터 월 30-40대를 생산할 계획이다.

또 보스톤부근에 건설하는 공장에서는 에칭장치를 생산할 방침이다. 98년 중에 생산설비를 완성하여, 첫해 20대를 생산할 계획이다. 東京일렉트론은 현재 보스톤에 연구시설을 두고 미국 반도체업체들의 생산라인에 적합한 에칭장치를 개발하고 있다.

東京일렉트론은 현재 감광제의 도포, 현상장비 및 확산로, 에칭장비 분야에서 세계시장의 50%정도를 차지하고 있다.

<심규호 기자>