일본캐논이 2백56MD램 양산용 스테퍼를 개발,내년 4월이후 출하한다.
25일 「日本經濟新聞」보도에 따르면 캐논이 개발한 스테퍼는 「FPA4000EST」로 광원에 불화 크립톤 엑시머레이저를 사용해 0.25미크론 이하의 해상도를 실현했다. 처리능력도 시간당 웨이퍼 10장으로 높다.
캐논은 이 스테퍼를 대당 7억엔에 판매할 계획인데 출시 첫해에 60대를 판매한다는 목표를 세우고 있다.
<박주용 기자>
<박주용 기자>
<박주용 기자>
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