한국에바라, 평택에 반도체 장비 조립공장 건설

한국에바라정밀기계가 별도의 반도체용 진공펌프 국산화를 추진하고 경기도 평택에 조립공장을 건설하는 등 반도체 장비 사업을 대폭 강화한다.

그동안 주로 일본 에바라社의 진공펌프와 스크러버 장비를 수입공급하던 한국에바라정밀기계(대표 시부야 마사루)는 내년부터 장비의 국내 조립생산에 본격 나선다는 방침 아래 최근 국산화팀을 구성하는 한편 지금보다 2배 정도 규모가 큰 공장을 건설 중이라고 30일 밝혔다.

이 회사는 이를 위해 30일 기공식을 갖고 경기도 평택시에 대지 2천평, 연건평 9백평 규모의 반도체용 진공펌프 및 가스스크러버 조립생산공장 건설에 착수했다. 이어 내년 3월까지 공장을 완공하고 생산인력도 2배 이상 충원해 현재 장비를 수입해 이를 재조립, 공급해온데서 나아가 직접 설계, 제작하는 방안도 적극 추진할 방침이다.

이와 관련, 이번에 확장하는 신공장에 별도로 TMP펌프 조립라인과 진공펌프의 성능테스트가 가능한 트레이닝 룸을 설치, 생산에서 판매, AS까지 총체적인 사업을 수행할 예정이다.

한국에바라는 『반도체 장비 조립생산을 위해 이번 신공장 건립과 함께 대대적인 인력충원을 통해 국산화팀을 대폭 강화하고 우선은 진공펌프와 가스 스크러버의 국산화에 박차를 가할 것』이라고 밝히고 향후 CMP관련 장비사업에도 진출하기 위해 신공장내에 관련 부품 창고를 마련할 계획이라고 설명했다.

<강병준 기자>