차세대 반도체 기반기술 개발사업 성과 17.18일 발표

2000년대 선진국 수준의 기초과학기술 확립을 위한 선도기술 개발사업의 하나로 정부와 업계가 공동으로 추진중인 「차세대 반도체 기반기술 연구사업」 3차연도 연구성과 발표회가 17, 18일 이틀간 서울대 반도체연구소에서 열린다.

이번 연구성과 발표회는 「고집적, 저전력 D램의 아키텍처 연구」 등 설계, 소자기술 관련 21개 과제와 「고밀도 건식 식각연구」 등 식각, 리소그래피 기술 20개 과제, 「스퍼터장비 개발」 등 배선기술 19개 과제, 「웨이퍼소재 개발」 등 소재, 유전체기술 16개 과제 등 총 76개 과제를 대상으로 실시된다.

이번 3차연도 사업에는 96년 한해 정부 2백80억원, 업계 2백46억을 포함해 총 5백26억원이 투입됐다.

〈김경묵기자〉