케이씨텍, 가스압력 조절기 국산화

케이씨텍이 반도체제조 주변장비인 가스공급시스템의 핵심부품인 가스압력 조절기를 개발했다.

반도체장비 전문업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 지난 93년부터 총 3억원을 들여 최근 반도체 주변장비인 가스공급시스템의 가스공급량을 적절하게 유지하고 압력을 조절할 수 있는 핵심부품인 가스압력 조절기를 국산화하고 별도의 생산라인을 갖춰 내년부터 본격 양산에 들어갈 계획이라고 1일 밝혔다.

케이씨텍이 개발한 이 제품은 다른 가스압력 조절기와 달리 유독, 유해 가스를 주로 사용하는 반도체 제조용으로 제작돼 외부누출과 고장이 없으며 먼지 발생 등 외부 불량요인에 강한 강점을 가지고 있다. 또한 기존 가스압력 조절기의 대표적인 불량요인이었던 먼지 등을 기존 장비(0.13∼0.38미크론)보다 대폭 향상된 0.01미크론까지 제거할 수 있다.

케이씨텍은 『그동안 전량 수입에 의존하던 반도체장비용 핵심부품을 개발, 약 1천만달러 정도의 수입대체 효과가 기대되며 스테인리스 강철의 전해연마 기술이나 먼지 등을 제거하는 클리닝 기술 및 스테인리스 정밀가공, 용접기술의 향상에도 이바지할 것』으로 기대했다.

〈강병준 기자〉