그간 전량 수입에 의존해온 반도체용 고순도 흑연제품이 97년부터 국내에서 본격 생산된다.
반도체 제조장비업체인 케이씨텍(대표 고석태)은 그간 수입에 의존해온 반도체용 고순도 흑연을 국내에서 생산키로 하고 지난달말 日동경에서 日도카이 카본사및 한국 승림카본금속사등 3개사가 참여한 합작회사 「한국도카이카본(주)」설립을 위한 조인식을 가졌다고 3일 밝혔다.
케이씨텍이 40%,승립카본금속이 10%,日도카이 카본이 50%의 비율로 각각투자한 한국도카이카본(주)의 대표이사는 케이씨텍의 고석태사장이 맡아 설계,제조, 판매 및 AS등 경영전반을 주관키로 했으며 97년 하반기부터 본격생산에 들어갈 예정이다.이를 위해 올초 케이씨텍 공장 인근인 경기도 안성제2공단내에 1천 7백여평의 부지를 확보했으며 향후 2년간 총 70억원을 투자하여 고순도 흑연 제품 가공을 위한 대단위 일괄제조공정을 갖출 예정이다.
반도체용 고순도 흑연은 실리콘 웨이퍼 그로잉(성장)장비와 제조공정시 확산,이온주입시 불순물의 발생을 극소화하기 위해 채용되는 고도기술제품으로일본과 미국만이 제조기술을 갖고 공급해 왔기 때문에 그간 일도카이카본사가 국내소요량의 90%이상을 공급해왔다.
업계는 이번 합작법인 설립으로 반도체용 핵심 원재료산업 저변확대는 물론 연간 5백억원이상의 수입대체효과도 가능할 것으로 보고 있다.
<김경묵 기자>
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