자원硏, 고순도 단결정 자동성장장치 개발

한국자원연구소(소장 강필종)는 9일 은성기연(주)과 공동으로 반도체용 웨이퍼, TV·VCR필터용 소재로 쓰이는 고순도 단결정 자동성장장치를 개발했다고 9일 발표했다.

자원연구소 광상연구부 단결정 육성팀(연구책임자 장영남)이 과학기술처특정연구사업의 하나로 총 8천여만원의 연구비를 들여 개발한 이 장치는 단결정이 성장해 가는 과정에서 생겨나는 순간의 무게변화를 주파수 신호로 변환시켜 연속적으로 감지하는 센서를 이용, 고순도의 단결정을 성장시키는 방식인데 연구팀은 이번 개발이 세계 최초라고 밝혔다.

연구팀은 특히 이 장치는 단결정 성장에 따른 무게 변화를 전압으로 전환,유선을 통해 전달하던 기존 방식과는 달리 리모컨 원리를 이용한 무접촉 방식이므로 유선접촉에 따른 노이즈·시그널 등 간섭의 비율이 극소화되고 지속성·안정성·정밀성을 종전의 센서에 비해 10배 내지 최고 1백배까지 향상시킬 수 있는 점이 특징이라고 밝혔다.

단결정은 전자·컴퓨터·반도체 산업분야 등에서 고부가가치 장비제작에사용되는 첨단 요소물질로 합성과정을 통해 제조되기 때문에 이번 장치가 상용화될 경우 국내 전자산업 기초소재 분야에 큰 도움이 될 전망이다.

국내 단결정 제조는 주로 실트론·포스코휼스 등이 담당해 왔으나 결정성장과정중 숙련된 전문가가 항상 옆에 있어야 하는 문제와 불규칙한 외형, 인위적으로 주입된 불순물의 불규칙한 분포 등으로 인한 손실문제 등으로 많은어려움을 겪어 왔다.

〈대전=김상룡기자〉