세종반도체, 6.8인치 웨이퍼 자동이송장치 개발

반도체 제조장비업체인 세종반도체(대표 이해광)가 6 및 8인치 웨이퍼용자동이송장치를 개발했다.

세종반도체는 지난해부터 통상산업부와 삼성전자의 지원금을 포함, 총 20억원의 개발비를 들여 6인치·8인치용 웨이퍼 자동이송장치(Auto Wafer Transfer System) 국산화에 성공, 하반기부터 본격 생산할 것이라고 22일 밝혔다.

세종반도체가 개발한 이 제품은 각 웨이퍼마다 부여된 ID를 자체적으로 인식해 공정자료 데이터베이스를 구축할 수 있도록 설계돼 반도체 제조공정의자동화를 꾀할 수 있다.

이 제품은 기존에 웨이퍼를 집어올리는 진공 트위저(Tweezer)를 이용해 수작업으로 이루어지던 것을 자동화, 웨이퍼의 오염이나 스크래칭(Scrathing)에 의한 불량소지를 크게 줄일 수 있다. 또 공정간의 웨이퍼 카세트와 솔트(Solt)번호에 따른 소트(Sort) 및 머지(Merge)기능을 자동으로 구현함으로써트위저 사용시 보다 수율을 향상시킬 수 있다는 특징을 가지고 있다.

또한 2조의 카셋트단을 구비, 6인치·8인치 크기의 웨이퍼를 단순이동시시간당 6백장, ID번호 인식시 시간당 2백장을 반송할 수 있는 능력을 가지고있으며 11초 이하의 정렬속도와 LCD터치 스크린 방식으로 설계되었다. 이외에도 세부적으로 로봇, 수평식 얼라이너(Aligner), 엘리베이터 등의 모듈 개발로 반도체 장비뿐 아니라 LCD제조용 장비에도 적용할 수 있다.

세종반도체는 이번달 이 장비를 생산라인에 채용, 운영프로그램의 버그 개선과 더불어 각 파트 모듈별 테스트에 의한 데이터를 산출, 장비의 업그레이드를 위한 문제점 및 개선점을 도출하고 올해 하반기부터 양산에 들어가 내년 연 10대 이상을 생산할 계획이라고 밝혔다.

<강병준 기자>