[초점] ASM코리아, 前공정 반도체장비시장서 약진

국내 前공정 반도체장비시장에서 ASM코리아(대표 정흥)가 급부상하고 있다.

올 초 설립된 ASM코리아는 유럽 네덜란드의 대표적인 반도체장비업체의한국법인으로 LP CVD 「A400」와 PE CVD「이글10」 그리고 에피장비인 엡실론 등 3종의 장비를 주력 공급하고 있다.

이들 제품들은 그동안 어플라이드머티리얼즈社나 도쿄일렉트론 등 미·일업체들이 석권해온 핵심장비로 반도체라인 신·증설붐이 일면서 납기지연이두러졌던 제품들이다.

ASM의 장비들이 최근 주목을 받고 있는 것은 상대적으로 생산성이 높은데다 미·일업체에 대한 의존도를 줄이려는 수요업체들의 노력 때문인 것으로 풀이된다. 실제로 ASM의 LP CVD 경우 한 장비안에 리액터가 2∼3개씩 내장돼 연속공정이 가능해 생산성이 우수하다는 평가를 받고 있다.

이에 힙입어 이 회사는 삼성 등 반도체 3사에 퍼니스를 공급한데 이어 현재 반도체 일관가공사업을 추진중인 아남산업에는 23대를 공급할 것으로 알려져 선발업체인 TEL과 국제일렉트릭을 긴장시키고 있다.

ASM측은 노벨러스와 어플라이드가 장악하고 있는 플라즈마(P) CVD시장에도 이글10의 돌풍을 기대하고 있다. 현재 ETRI 등 개발부서를 위주로공략중인 이 제품은 생산성은 기존제품들과 비슷하면서도 디자인이 단순해유지보수가 쉬워 인기를 끌고 있다고 이 회사는 밝혔다.

또 향후 수요가 크게 늘 것으로 보이는 에피웨이퍼시장 공략을 위한 엡실론의 경우 싱글타입을 채용해 대구경 웨이퍼 가공에 적합하다는 평가와 함께이미 삼성전자와 ETRI에 공급, 제품주가를 높여나가고 있다.

ASM코리아는 최근 반도체 3사 등에서 이들 제품이 긍정적인 반응을 얻고있는데 힘입어 97년 이후 국내 조립생산도 적극 검토중이다.

업계의 한 관계자는 최근 ASM의 약진과 관련해 『국내 반도체업체들의선택의 폭이 그만큼 넓어진다는 점에서 경쟁력있는 장비업체들이 가능한 한많이 출현하는게 바람직하다』며 특히 유럽업체의 부상은 그간 미·일에만의존해온 국내 반도체업계에 자극이 될 수 있다는 점에서 긍적적으로 본다고덧붙였다.

<김경묵 기자>