현대전자, 웨이퍼 자동분류.정렬장비 국산화

현대전자(대표 정몽헌)는 기존 장비보다 웨이퍼의 손상을 줄이면서 생산성을30%이상 향상시킨 웨이퍼 자동분류 및 정렬장비 "소터(Sorter)"의 국산화에 성공했다고 12일 밝혔다.

현대전자가 총 1억5천만원을 들여 개발한 이 제품은 고집적 메모리반도체의수율 향상에 필수적인 최첨단 반도체장비로 핵심부품 및 운용소프트웨어를자체 개발, 장비 정밀도를 향상시켰고 한글메뉴 방식을 채택해 작업의 편리성을 높였다.

또 카세트당 처리능력을 30%이상 향상시켰으며 자동화 라인에서 각 공정간에 카세트를 이동시키는 무인반송차와 통신이 가능하도록 설계돼 있는 것이특징이다.

그동안 수작업으로 해왔던 웨이퍼의 이동과 분류작업의 경우 16MD램급 이상의 반도체 제조공정에서부터는 웨이퍼 손상을 방지하고 생산성을 높이기위해 이같은 공정을 자동 처리할 수 있는 소터장비를 수입 사용해 왔는데,현대전자는 이번 소터장비 개발로 연간 2천만달러 이상의 수입대체가 가능할것으로 기대하고 있다.

현대전자 반도체장비 개발담당 남종현 상무는 "8인치 웨이퍼 2만5천장 생산라인 기준으로 라인당 소터가 23~24대가 투입되는 것을 감안할 때 수입대체효과는 결코 적지 않다"고 강조하고 "수입장비는 기존 운용소프트웨어와의호환성 등 여러가지 문제점이 있었으나 이번 소터의 자체 개발로 생산성이크게 높아지는 등 효율적인 제조공정 관리가 가능해 97년 건립 예정인 "FAB8"부터는 전량 국산제품을 투입할 계획"이라고 말했다.

〈김경묵기자〉