신우하이테크, 웨이퍼 표면측정기 출시

신우하이테크(대표 어호선)가 반도체 제조공정중 노광 및 식각공정에서 전자현미경(SEM)을 이용, 선의 굵기 및 접촉 홀의 지름을 측정하는 고성능인라인(In line) 웨이퍼 표면 측정기 "OPAL 7830i"를 본격 공급한다.

이 제품은 전자현미경을 이용해 복잡한 회로상에서 각각의 라인과 공간을정확히 구분, 원하는 부분의 길이를 측정할 수 있으며 완벽한 자동화 실현으로생산성을 높여 시간당 8인치 웨이퍼 30장을 처리할 수 있다.

또 광학현미경과 저전압(6백V) 전자현미경을 사용해 초기 초점을 맞추고,특수 설계된 전자주사장치와 사방에 설치된 전자검출기(MCP)로 완벽한 3차원의 형상을 모니터에 재현하는 등 뛰어난 분석능력을 갖추고 있다.

<김경묵기자>