[화요특집] "`96 세미콘코리아" 사상 최대규모 24일 "팡파르"

국내는 물론 세계의 최첨단 반도체 장비및 재료를 한자리에서 볼 수 있는"96세미콘코리아(SEMICON/KOREA)" 전시회가 24일부터 26일까지 한국종합전시장(KOEX) 태평양관에서 열린다.

올해로 9번째 열리는 이번 96세미콘코리아에는 반도체시장 호황을 여실히입증하듯 국내.외 반도체장비 및 재료업체들이 대거 참여, 역대 최대 규모의전시회로 기록될 전망이다.

또 어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)사가 3백mm(12인치)웨이퍼 가공을 위한시험용 장비를 선보이는 것을 비롯해 대다수 참가업체들이 64MD램 이상의제품생산에 대응할 수 있는 첨단제품들을 출품하고 있어 질적으로도 그 어느때보다 향상됐다는 평가다.

특히 올해는 종전과는 달리 전시기간 내내 태평양관 4층 회의실에서 관련분야의 기술전문가들을 초빙해 최신의 공정기술.패키징기술.제조기술을 소개하는 기술세미나를 개최하는 한편, 테스트장비와 환경문제를 신규 세미나 주제로 채택해 첫선을 보이는 등 분야별로 영역 넓히기 노력도 두드러지고 있다. 이와함께 지난해에 이어 두번째로 평판디스플레이(FPD)분야에 대한 기술세미나와 제품시연회도 열릴 예정이어서 96세미콘코리아는 SEMI가 추진하고있는 반도체.디스플레이 전문전시회로 자리잡아가는데 커다란 계기를 마련해줄 것으로 예상된다.

전시주관사인 국제반도체장비.재료협회(SEMI)코리아(대표 이주훈)에 따르면올 세미콘코리아에는 우리나라를 비롯해 일본.미국.유럽 등 세계 19개국에서 약 4백여개 업체가 참여한다. 이는 지난해에 15개국 3백50개업체가 참여한 것에 비해 무려 50개 업체가 늘어난 것으로 이에따른 전시부스도 지난해4백48개에서 올해는 5백49개로 크게 늘어났다.그럼에도 불구하고 부스 부족으로 전시공간을 얻지 못한 일부 업체들은 인근 호텔이나 전시장내 컨퍼런스룸을 빌려 제품전시를 하는 등 반도체 호황에 따른 높은 참가열기와 부스부족이 빚어낸 후유증도 적지 않게 나타나고 있다. 세미측은 이같은 높은 호응과관심에 힘입어 이번 전시회기간 동안 지난해보다 3천명 이상 늘어난 연인원1만8천명 가량이 전시장을 다녀갈 것으로 예측하고 있다.

올 세미콘코리아의 두드러진 특징으로는 우선 외국업체들과 그간 국산화에힘써온 합작업체들의 대거 참여를 꼽을 수 있다. AMK.램.한국베리안.성원에드워드.한국DNS.케이씨텍.한국아토엔지니어링.한양기공 등 국내 장비산업을이끌고 있는 업체들마다 그간 국산화를 마쳤거나 추진중인 신제품을 내놓았으며 미.일.유럽의 70여 업체들도 국내 64MD램 양산에 대응할 수 있는 경쟁력을 갖춘 장비들을 대거 선보이고 있다. 특히 종전과 달리 애써 자사 장비를 실어와 실물을 전시하는 외국업체들이 많아진 것은 국내 반도체산업의 위상을 극명하게 보여주는 사례로 업계는 보고 있다. 메모리제품에 관해서는최고의 수준인 국내 반도체 3사의 장비사용여부가 이제 세계수준의 장비및재료의 품질인증을 뜻하는 것으로 해석되고 있기 때문이다.

이번 전시회를 통해 가장 활발한 움직임을 보이는 해외업체는 단연 프랑스업체들이다. ASTI, STAUBLI 등 7개 업체들은 프랑스 반도체산업협회(JEMI)를앞세워 일찌감치 래한, 통산부.한국반도체산업협회등 유관단체 관계자들은물론 국내 반도체업체들과 세미나를 갖는 등 세미콘코리아의 자사제품 소개및 한국업체와의 협력모색을 위한 교류의 장으로 적극 활용하고 있다.

대다수 전시품목은 64MD램 이상의 고집적 반도체 양산에 사용되는 장비.재료들로 일부 제품의 경우 2백56MD램 개발 및 시제품 생산에도 사용할수 있는0.35미크론 이하의 초미세회로 가공기술을 채택한 장비들도 선보이고 있는데특히 지난해 미세미콘웨스트 전시회에서 출품됐던 256MD램에 대응한 고밀도플라즈마 에칭장비, 고에너지 임플랜터, RTP장비 등도 다수 선보여 참관객들의 큰 관심을 끌 것으로 예상된다. 그 중에서도 FAB장비업체인 어플라이드머티리얼즈사를 비롯해 에칭시스템 분야의 램리서치사, 이온임플랜터 분야의베리안사, 스테퍼분야의 캐논사 등과 디지털.아날로그 등이 혼합된 제품 테스트 성능을 강조한 복합신호(Mi.ed Signal)제품 테스트 시스템이 주류를 이룬 테스트분야에서는 어드밴테스트사.슐럼버저사.LTX사 등이 주목을 받을 것으로 보인다.

반도체는 복잡한 제조공정으로 인해 하나의 생산라인에 수백종의 장비를필요로 하며 장비의 가격들이 공정장비는 보통 대당 3억~10억원을 호가할 정도로 비싸 반도체생산에 필요한 투자비의 70~80%에 달할 정도로 장비의 비중이높다.

또한 반도체사업에서의 성패는 집적도와 성능의 발전속도에 알맞는 신형장비를 적기에 확보하느냐의 여부에 크게 좌우되기 때문에 반도체장비에 대한관심은 한층 더 높아지고 있다.

현재 국내에서 생산되는 장비는 대부분 관련장비와 테스트장비, 그리고 조립장비에 집중돼 있으며 스테퍼 등 핵심 전공정 장비는 거의 전량을 일본과미국에 의존하고 있다.

이에따라 2~3년전부터 국내에서도 반도체 3사가 중심이돼 장비.재료의 국산화에 총력을 기울여 나가고 있다. 그 중에서도 지난해부터 본격적인 과제수행에 들어간 "반도체장비 중기거점 기술개발사업"은 장비국산화에 견인차역할을 할 것으로 기대된다. 98년까지 정부 2백억원, 민간기업 3백억원 등총5백억원을 들여 수행하는 이 사업에는 장비업체 14개사, 소자업체 4개사등총 18개 업체가 참여해 와이어본더.애셔.테스트핸들러.몰딩시스템 등 14개의품목을 우선적으로 국산화할 계획이다.

또 삼성전자.LG반도체.현대전자 등 반도체 3사는 올초부터 각각 2백억원의협력업체 지원자금을 마련해 장비국산화를 추진하는 협력업체들에게 무이자로 지원하고 있는 등 적극적인 지원에 나서고 있어 장비국산화 추세는 한층가속화될 것으로 보인다.

여기에다 지난해 14개 반도체장비업체가 입주해 본격가동에 들어간 천안공단내에 신규로 13개 해외 합작업체들이 추가로 들어설 예정이어서 핵심장비의국내생산이 내년을 기점으로 본궤도에 오를 것으로 기대된다.

반도체산업협회는 올들어 장비국산화 못지않게 핵심재료 국산화도 중요하다고 보고 "중기거점과제"를 재료분야로 확대해나갈 계획으로 있어 장비에이어 핵심재료 국산화도 본격적인 닻을 올릴 것으로 전망된다.

국내 반도체장비시장은 2~3년전부터 본격화된 소자업체들의 증설에 힘입어94년 20억 달러에 이어 95년에 22억 달러에 이르렀고 올해는 25억 달러를 넘어설 것으로 예측된다. 지난해의 경우 전체 수요의 82%를 해외에서 수입했는데 특히 이 가운데서도 일본이 47%로 압도적인 점유를 차지하고 있으며 미국이 30%를 점했다. 일본으로부터는 주로 스테퍼.트랙장비.로.테스터 및 조립장비를 수입하고 있으며 미국에서는 CVD.이온임플랜터.스퍼터와 정밀측정기기를 주로 들여오고 있다.

그러나 전공정장비의 경우 선진국과의 합작생산 또는 해외 기업의 1백% 단독투자를 통한 직접 진출이 가속화돼 국내생산이 활기를 띠고 있고 조립용장비는 외국과의 기술제휴 또는 독자개발이 점차 늘고 있어 97년말까지는 검사측정장비를 제외한 주요 장비의 50%정도를 국내생산할 수 있을 것으로 업계는보고 있다.

국내 반도체 재료시장은 장비와는 달리 비교적 탄탄한 국산화 기반을 갖고있다. 이는 재료 수요 특성상 일관가공부문과 조립용 부문으로 나뉘어 있는데 아남산업과 현대전자 등 세계적인 조립업체의 수요에 힘입은 바 크다고볼 수 있다.

90년에 5억 달러를 기록한 국내 반도체 재료시장은 반도체 소자업체들의생산능력 확대와 조립물량의 증가로 95년에는 이의 4배에 가까운 19억 달러에달한 것으로 추정된다. 품목별로는 국내생산이 강한 반도체조립용 재료가전체의 47% 이상을 차지했으며 이중 해외수입은 54%에 이른 것으로 분석됐다.

그러나 최근들어 기능재료인 웨이퍼의 경우 포스코휼스와 실트론 등 국내업체가 생산능력 확대에 박차를 가하고 있고 공정재료인 포토마스크.포토리지스트.케미컬.고순도 가스 등은 합작생산의 본격화로 수입대체가 빠르게 진행되고 있다.

【김경묵기자】