일 미쓰미시머티어리얼, 미국에 64MD램용 웨이퍼 공장 건설

일본 미쓰비시머티어리얼사가 차세대 메모리반도체인 64MD램용 8인치 웨이퍼 공장을 미국 오리건주에 건설한다고 "일본경제신문"이 18일 보도했다. 이에따르면 약 70억엔이 투자되는 새 공장은 세계 최초의 차세대메모리용 웨이퍼 양산공장으로 오는 10월 공사에 착수、 97년 가동을 목표로 한다. 웨이퍼업 계 3위 미쓰비시머티어리얼이 다른 업체에 앞서 64MD램용 공장을 건설하는 것은 조기투자를 통해 성장이 기대되는 차세대시장을 선점해 나가겠다는 전략으로 풀이된다. 미국에서는 97년 가을 일본 도시바와 미국 IBM의 합작사가 버지니아주에서 64MD램의 생산을 예정하고 있다. 미쓰비시머티어리얼은 현재 오리건주 셀럼시에 실리콘웨이퍼 일관생산라인을건설중인데 새 공장도 이곳에 건설된다. 공장건설은 현지생산자회사인 실텍사가 맡고 오는 10월 착공한 다. 새 공장의 연 면적은 약 3천㎞이며 일관생산라인을 포함한 총 투자액은 3백2 0억엔에 달한다.

새 공장에서는 8인치웨이퍼에 산화막을 형성해 미세가공등을 용이하게 하는에피택셜웨이퍼를 양산한다. 웨이퍼의 월산규모는 4만~4만5천장을 예정하며9 8년 연간 약 1억달러의 판매를 목표로 한다.

D램에서 16MD램까지는 기술적으로 종래의 웨이퍼로 제조가 가능하지만 64MD 램부터는 회로선폭의 미세화에 대응하기 위해 산화막을 형성해 품질을 높인에피택셜웨이퍼가 필요한 것으로 알려지고 있다.

에피택셜웨이퍼의 가격은 종래제품의 2배로 비싸다. 그러나 도시바 IBM이 공동으로 이 웨이퍼를 사용한 D램의 개발을 추진하고 있어 미쓰비시머티어리얼 측은 금후 거대시장을 형성할 것으로 전망한다.

한편 미쓰비시머티어리얼은 이번 새 공장건설과 함께 실텍의 기존공장 웨이 퍼생산능력도 증강할 계획이다. <신기성 기자>