<사설> 차세대반도체 "협력" 급하다

발전차세대 반도체 제조용 웨이퍼를 비롯한 반도체 재료와 이를 제조 또는가공키 위한 장비에 대한 관심이 고조되고 있다.

특히 D램을 비롯한 메모리 반도체의 경우는 적기에 필요한 양을 시장에 공급할 수 있는 능력이 시장지배의 관건이 되기 때문에 메모리 업체들에 있어차세대 재료 및 장비의 확보 문제는 초미의 관심사가 되고 있다.

이에 따라 반도체 소자업체들은 적기에 생산성을 극대화할 수 있는 장비를 획득하는데서 한 걸음 더 나아가 장비.재료업체들과 노하우를 주고 받으면서타 업체들에 비해 앞선 양산기술을 개발하는 데 힘을 쏟고 있다.

때문에 어느 업체에 어떤 공정장비가 공급된다는 것은 비밀이 될 수밖에 없고 장비업체들도 특정 소자업체와 협력해서 개발한 장비를 경쟁 소자업체에 공급하지 않는 것이 상례화돼 왔다.

90년대 초반에 미국의 반도체업체들이 일본 장비업체가 최신의 고성능 장비 들을 미국업체에 공급하지 않는다고 제소, 무역마찰을 일으킨 적이 있었다.

이에 대해 일본 반도체 소자 및 장비업체들은 새로운 장비들이 몇몇 소자업체들과 공동 개발한 "주문형"이기 때문에 타사에 공급할 수 없다고 반박했었다. 물론 일본 장비업체들의 주장은 원론적으로 맞는 말이다.그러나 첨단 반도체 제조장비를 "무기화"하려는 의도가 전혀 없었다고 보기도 어렵다는 것이 업계의 지배적인 견해였다.

히타치 NEC 도시바를 비롯한 일본의 대형 반도체 10사는 최근 12인치 대구경 웨이퍼 제조설비를 공동으로 개발키로 했다. 이를 위해 연말까지 이 프로젝트를 전담할 회사를 설립할 예정이며, 총 소요예산이 5백억~1천억엔에 달할 것이라고 한다.

일본 반도체업체들이 이같은 대형 프로젝트를 공동추진키로 한 것은 지난 76 년 초고집적회로(VLSI)프로젝트 이후 20년만에 처음이다.

차세대 12인치 웨이퍼 제조장치의 개발문제는 전세계 반도체업계의 초미의 관심사가 되고 있다.

통상 반도체의 집적도는 매 3년마다 4배로 증가하며, 다이 사이즈는 전세대 제품에 비해 1.5배 가량 늘어난다. 둥그런 웨이퍼에서 면적이 보다 넓어진사각형의 칩을 생산하게 되면 자연히 웨이퍼상에 사용하지 못하고 버려지는부분이 많아져 생산성과 경제성이 떨어지게 된다.

때문에 세대가 바뀔 때마다 웨이퍼의 직경도 커져왔으며 이제는 16MD램에 이어 64 및 2백56MD램 생산을 위해 파격적으로 넓은 웨이퍼를 요구하고 있는 것이다.

2백56MD램급 반도체 생산을 위한 차세대 웨이퍼로는 현재 16MD램 양산용8인치 웨이퍼에 비해 면적이 2배가 넘는 12인치 웨이퍼가 채택될 전망이다.

문제는 대구경12인치 웨이퍼를 생산하고 가공할 수 있는 기술이 확립돼 있지않다는 점이다. 업계전문가들에 따르면 12인치 웨이퍼용 실리콘봉(인곳)을 제조하는 데는 큰 어려움이 없으나 이를 얇게 자르고 가공하는 기술이 아직 확립되지 않았으며 엄청나게 커지고 무거워진 웨이퍼를 핸들링하고 처리하는기술도 대폭 보완돼야 한다.

이와 관련, 세계 반도체업체들은 관련기술을 개발해야 한다는 점에는 모두공감하고 있으면서도 누구도 앞장서지는 않고 있다.

기술개발비 문제도 문제거니와 개발한 제품을 반도체 업체들이 널리 채택하지 않을 경우 큰 리스크를 안게 되기 때문이다.

이번에 일본업체들이 12인치 대구경웨이퍼 제조장비를 공동개발키로 한 것도더이상 이의 개발을 늦추기 어려운데다 공동개발에 참여한 10개업체의 수요는 보장돼 리스크를 줄일 수 있기 때문이다. 물론 저변에는 관련 핵심장비를 조기에 상용화함으로써 한국 등 후발국에 빼앗기고 있는 시장을 만회하겠다 는 장기 포석이 깔려 있음은 말할 나위 없다.

국내업체들도 국책 프로젝트로 12인치 대구경 웨이퍼 및 관련장비류를 개발 하고 있다. 그러나 솔직히 국내업체들의 개발은 기존 외국장비업체들이 개발 했거나 개발중인장비를 우리 공정에 맞게 개량하는 수준을 넘지 못하고 있는것이 사실이다.

일본의 기술력과 참여업체의 규모 등을 감안할 때 이들 업체의 개발장비가 업계 표준이 될 가능성이 높은 것으로 보인다.

국내 업체들이 형식적인 개발수준을 벗어나 내용있는 개발을 위한 투자에 적극 나서지 않을 경우 차세대 메모리 시장에서 80년대와 같은 상황이 재현되지 말라는 법은 없다.

세계 시장에서 공생하기 위한 국내 반도체업체들의 진정한 협력을 재삼 촉구 한다.