독 지멘스, 동독 반도체 공장에 최신장비 설치

독일의 지멘스사는 현재 구동독지역의 드레스덴에 건설중인 차세대 D램공장 에 설치할 최신 반도체제조장비를 미국의 2개 업체에 발주했다고 최근 발표 했다. 일본 전파신문의 최근 보도에 따르면 지멘스는 드레스덴공장에 13억달러이상 을 투입해 제조장비를 설치、 오는 96년중에 생산에 들어갈 예정이다.

이번에지멘스는 미실리콘밸리 그룹(SVG)에 웨이퍼처리장치(8000AVP)를、 온 트락사에는 웨이퍼세정장치 (DSS-200시리즈Ⅱ )를 각각 발주했다.

지멘스는 오는 5월중에 8000AVP시스템을 8인치웨이퍼생산용으로 설치할 계획 이다. <주문정 기자>