반도체장비 국산화 활기

그동안 대부분 미.일 등의 수입품에 의존해 오던 반도체장비들이 저부가제품 을 중심으로 국내에서 생산이 활발하게 추진되고 있어 반도체산업의 구조개선에 크게 도움이 되고 있다.

한국아토엔지니어링(대표 오순봉)이 반도체공정의 불순물을 획기적으로 줄이는 반도체공정장비인 "HGRS"의 국내공급에 나서는 한편 시화공단에 조립라인 을 구축, 국내생산에도 나설 방침이다.

한국DNS(대표 김광교)도 총5억여원의 개발비를 투입, 지난 93년부터 개발에 착수, 그동안 전량 수입에 의존해오던 반도체장비인 가스 스크러버를 완전국 산화하는데 성공했으며 국내공급및 수출을 위해 국내외에 특허를 출원했다.

한국베리안(대표 서성기)은 차세대공정개발 장비인 "MS2100" 스퍼터링시스템 의 국산화에 나서 최근 이 제품의 설계.제조는 물론 컴퓨터제어 소프트웨어 까지 순수자체기술로 개발, 국내공급을 시작했다.

진공기기 전문제조업체인 성원에드워드(대표 김중조)도 최근 반도체공장에서 중요성이 점차 커지고 있는 CMS(Central Monitoring System)구축에 적합한 iQ-드라이 펌핑시스템"의 공급에 나서는 한편 천안 제2공단내 부지 1천5백 평.연건평 7백50평규모의 새 공장에서 이 제품을 생산하고 있다.

이밖에도 가스 캐비닛등 반도체장비를 국산화해온 케이씨텍(대표 고석태)이 드라이 스크러버(건식 가스정화기)의 국산화에 성공, 공급에 나섰으며 미래 산업(대표 정문술)도 테스트 핸들러의 자체개발에 성공, 국내업체는 물론 IBM등에 대한 공급을 시작했다.

지난해 국내에서 생산된 반도체장비는 전체국내수요의 14%인 2억2천7백만달 러(1천8백20억원)로 종류별로는 전공정장비가 4백90억원, 테스트장비가 4백4 0억원, 조립장비가 2백80억원, 기타 관련장치가 6백10억원을 각각 차지했다.

올해는천안반도체장비공단의 입주가 완료됨에 따라 반도체장비의 국내생산 은 더욱 늘어나 올해는 총3억5천1백만달러로 전체반도체장비수요의 27%를차지할 전망이다. <이경동 기자>