한국 DNS, 반도체장비 가스 스크러버 국산화

한국DNS(대표 김광교)는 그동안 전량 수입에 의존해온 반도체장비인 가스 스크러버 Scrubber 를 최근 완전 국산화, 국내공급을 시작했다.

한국DNS는 지난 93년말부터 총 5억여원의 개발비를 투입해 최근 국내 처음으로 가스 스크러버 "V-1"<사진>을 개발, 국내외에 특허를 출원하는 한편 이달부터 본격 공급키로 했다.

한국DNS의 "V-1" 가스 스크러버는 크기를 최소화시켜 처리용량을 극대화했으 며 (WET) 스크러빙에 포그(FOG)방식을 채택, 효율을 개선한 것이 특징이 다. 또한 세라믹 히터를 채용, 수명을 반영구적으로 높였으며 터치스크린방 식의 제어방식을 채택하고 오토클리닝시스템을 사용, 유지보수의 자동화를 실현하는등 기기의 효율성과 안정성을 크게 높이고 다양한 공정에 적용이 가능토록 했다.

가스 스크러버는 반도체공정에 사용되는 부식.유동성및 폭발성이 있는 가스 들을 효율적으로 처리, 안전한 상태로 방출하는 장비다. <이경동 기자>