일 LCD장비업체, 대형기판대응장치 출하계획

일본의 액정디스플레이(LCD) 제조장비업체들이 대형 기판에 대응할 수 있는제조장비의 상품화에 적극 나서고 있다.

"일본경제신문"에따르면 플라즈마시스템사가 올해안에 면적이 기존의 2배인 대형 글래스기판에 대응할 수 있는 애싱장치를 제품화할 예정이며 중앙이연 도 연내에 기존면적의 2배가 되는 기판용 레지스트(간광수지)도포장치를 출하할 계획이라는 것이다.

LCD제조장비업체들의 이같은 움직임은 최근들어 액정TV 등에 탑재하는 LCD 용 패널의 대형화가 진행됨에 따른 것으로 금후 대형기판 제조장비의 상품화 가 더욱 가속화될 전망이다.

플라즈마시스템이판매하는 애싱장치는 로광장치를 사용, LCD기판에 회로패턴을 그린 후 불필요해진 레지스트를 제거하는 장치로 5백50~6백50mm의 대형 기판에 대응할 수 있다.

중앙이연의 레지스트도포장치는 로광하기 전의 기판위에 레지스트를 늘어뜨리고 고속으로 회전시켜 전체적으로 도포하는 장치다. 종래 제품보다 2배 큰 글래스기판에 대응가능하고 기판의 무게를 지탱하도록 반송라인을 강화.개량 했다. <신기성 기자>