한빛제어 "버닝 스크로바" 국산화

산업용 환경기기 개발 전문업체인 한빛 제어(대표 마초열)가 반도체 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 유독성. 맹독성 가스를 제거하는 "버닝 스크로바(SCR UBBER)"를 국내 처음으로 개발에 성공, 본격 공급에 나선다.

한빛제어가 개발한 "버닝 스크로바" 는 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 각종유해가스의 화학 성분을 태워서 제거하는 방식으로 촉매를 사용하는 기존 방식이 촉매의 계속적인 교환등 사용상의 번거로움을 해소했고 유해가스 제거 시 발생하는 2차 산성 물질은 물로 다시 한번 녹여내는 2단계 제거 시스템이 다. 힌빛제어는 이 시스템이 산소 및 질소, 반응가스를 적절한 비율로 혼합, 챔 버에 수용후 폭발을 통한 유해 가스제거를 이루지만 기존 반도체 공장에 설치된 외국 제품이 1개의 챔버를 갖추고 있어 이상 발생시 공정 자체가 중단 되는 단점이 있는 것과는 달리 챔버의 수를 2개로 늘리는 "트윈 챔버"방식을 채택, 시스템 안정성을 향상한 것이 특징이라고 설명했다.

한빛제어는 이 제품의 가격을 동일한 성능의 외국제품에 비해 훨씬 저렴한3천5백만원대로 책정하고 삼성전자 현대전자 금성일렉트론등 국내 반도체 제조사를 중심으로 영업에 박차를 가할 계획이다.