[샌프란시스코=조휘섭 기자]지난해 고객들의 만족도가 가장 높은 반도체장비 업체는 공정장비 부문 노벨러스 시스템즈사, 테스트 및 재료 핸들링 장비 부문 인티그레이티드 메저먼트 시스템즈사, 공정 진단장비 부문에서는 텐코 인 스트루먼츠사로 각각 나타났다.
그러나 고객들의 만족도는 지난 92년에 비해 전반적으로 낮아진 것으로 조사됐다. 미국의 반도체 관련 조사기관인 VLSI리서치는 세계 반도체 업계 관계자 4만5 천명을 대상으로 각 부문별로 공정 지원, 소프트웨어 지원, 판매후 서비스 등 8개항에 대해 실시한 만족도 설문조사 결과를 이같이 발표했다.
이 조사에 따르면 반도체 공정 장비 부문에서는 노벨러스사가 10점 만점에 7.82점을 얻어 1위를 차지했고, 다음으로 이튼(7.67), 온트랙 시스템즈 (7.28 ), 램 리서치(7.19), FSIC(7.18), 어플라이드 머티리얼즈(7.08), 다이 닛본스크린 6.98 왓킨슨 존슨(6.98), 캐논(6.83), MRC(6.78) 등이 10위권에 들었다. 테스트 및 재료 핸들링 부문에서는 인티 그레이티드 메저먼트 시스템즈사가7.99로 1위를 차지했고 HP, 테러다인, 일렉트로 글라스, 어드반테스트, 아트 리엄, 델타 디자인, 슐럼버저, 메가테스트, KLA등이 차례로 10대업체로 선정 됐다. 공정 진단 장비는 텐코가 7.28로 1위에 올랐고 이어 KLA, 프로매트릭스, HP, ADE, 루돌프 리서치, 서머-웨이브, 히타치, 나노 매트릭스 등이 10위권에 랭크됐다. 또한 조립 및 특수 장비 부문에서는 오소다인 일렉트로닉스사가 8.6 4로 1위를 차지했으며 ESEC, 로보틱 비전 시스템즈, 쿠리케&소파 인더 스트리어즈 어셈블리 테크놀로지즈, TI등이 우수업체로 꼽혔다.
이들 10대 업체중 램 리서치와 테러다인, 어드반테스트, KLA등은 6년연속 10 위권에 선정됐다.
한편 이번 10대업체들의 평균점수는 지난해에 비해 공정장비부문은 7.24에서 7.18로 0.06포인트가 떨어졌고 테스트 및 재료 핸들링장비는 0.22포인트, 그리고 조립 및 특수장비 부문은 0.21포인트가 떨어지는 등 만족도가 전반적으로 하락했다.
VLSI측은 이같은 결과에 대해 지난해 장비업체들이 주문 증가로 선적 시기를 놓치는 경우가 많았던데다 주문량을 소화하기 위해 고객서비스보다는 생산에 치중했기 때문이라고 설명했다.
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