클린룸 관련 제품 개발 잇따라

반도체산업 등의 청정 작업환경 유지에 필수적인 클린룸 성능향상을 위한 연구개발 성과가 잇따라 나타나고 있다.

28일관련업계에 따르면 신성엔지니어링.한국캠브리지필터.영엔지니어링. 삼우내외산업 등 클린룸 관련업체들은 지난해 하반기 이후 최근까지 고정밀 클 린룸 관련 기술 및 제품을 속속 개발, 클린룸산업 자체의 기술 수준 제고는물론 청정 작업환경이 요구되는 반도체.전자.정밀기계 제조분야의 생산성 향상이 기대된다.

신성엔지니어링(대표이완근)은 이미 개발된 팬 필터 유닛(FFU)에 초정밀 온.습도 제어가 가능한 공조시스팀 및 중앙집중식 제어시스팀을 연계한 복합식 수퍼 팬필터 유닛(CFFU)을 개발했다.

2년간총4억5천여만원을 투입, 개발된 CFFU는 작업구역별 특성에 따른 온.습도 제어가 가능하며 16MD 램 생산공정에 적합하게 설계된 것이 특징이다.

이회사는 CFFU와 별도로 자동제어 방식으로 조작이 간편하면서도 제어의 정밀도를 크게 향상시킨 원터치 방식의 항온항습기를 개발, 양산을 준비중이다한국캠브리지필터 대표 김영대)는 2년여에 걸쳐 3억여원을 투입해 필터 상하 류간의 압력손실을 크게 줄여 클린룸 등의 에너지 소비절감은 물론 설치공간 을 축소할 수 있고 압역 손실이 낮은 에어필터를 개발했다.

이밖에영엔지니어링(대표 홍영기)은 전기력에 의해 가스와 대전입자를 분리시키는 산업용 전기집진기를 국산화했으며, 삼우내외산업(대표 정규수)도 수 퍼클린룸용 내장재와 정전기 중화처리용 재료 등에 활용할 수 있는 도전성 접착제의 제조기술을 개발, 상품화를 추진하고 있다.