삼성디스플레이, 오픈마스크 기술 연구…AMAT 장비 구매

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어플라이드 머티어리얼즈의 오픈마스크 증착장비 맥스 올레드. 〈사진 어플라이드 머티어리얼즈〉

삼성디스플레이가 파인메탈마스크(FMM)를 사용하지 않는 유기발광다이오드(OLED) 기술 개발에 착수했다.

26일 업계에 따르면 어플라이드 머티어리얼즈는 삼성디스플레이가 오픈마스크 방식 OLED 증착기를 도입할 예정이라고 밝혔다.

오픈마스크 방식은 포토리소그라피를 이용해 OLED를 패터닝하는 기술로, FMM을 사용하지 않는 것이 특징이다.

FMM은 얇은 막에 구멍을 낸 소재로, 적(R)·녹(G)·청(B) 화소를 기판 위에 원하는 위치에 증착할 때 사용된다.

오픈마스크 방식으로 OLED를 제조하면 FMM을 쓰지 않아도 되고, FMM에 잔류하는 유기재료를 줄일 수 있어 생산 공정을 개선하거나 비용을 아낄 수 있는 장점이 있다.

어플라이드는 자사 장비에 대해 “OLED 디스플레이 밝기를 최대 3배, 해상도는 최대 2.5배 높일 수 있고 전력 소비는 30% 이상 줄일 수 있다”고 소개했다.

다만 오픈마스크 방식은 아직 난도 높은 기술이라서 아직 상용화되지 않았다. 삼성디스플레이, LG디스플레이 모두 현재 FMM을 사용해 OLED를 만들고 있다.

일본 JDI나 중국 비전옥스가 한국 OLED를 추격하기 위해 각각 이립, ViP라는 이름으로 상용화를 추진하고 있지만 수율이 낮아 당장은 양산 기술로서 가치가 떨어진다는 게 업계 중론이다.

한 디스플레이 전문가는 “오픈마스크나 잉크젯과 같이 FMM을 사용하지 않는 방식이 OLED 효율을 높일 대안 기술로 준비되고 있지만 아직 갈 길이 멀다”면서 “삼성에서도 당장 적용하려고 한다기보다는 기술 개발 차원에서 장비를 도입하려는 것으로 보인다”고 말했다.


김영호 기자 lloydmind@etnews.com


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