고영테크놀러지는 반도체 검사장비 '젠스타(ZenStar)'를 정식 출시했다고 6일 밝혔다.
젠스타는 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 특화 제품이다. 고밀도 웨이퍼상 초미세 솔더나 반도체 기판상 경면 부품을 검사한다. △웨이퍼상 실장된 볼과 경면 부품 동시 검사 △전 방향 3차원 측정 기반 웨이퍼 범프 검사 △딥러닝 기반 비전 알고리즘 최적화 등의 기능을 지원한다.
고영 관계자는 “WLP는 최근 온디바이스 인공지능(AI) 시장 확대로 고성능 반도체 수요가 늘며, 차세대 패키징으로 각광받는 기술”이라며 “고성능 반도체 양산시 검사 과정은 생산성·품질 개선과 직결되기에 WLP 특화 장비를 기획했다”고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
