환경부는 한국환경산업기술원, 한국물포럼과 함께 26일 한국수자원공사 한강유역본부에서 반도체 초순수 국산화를 위한 협의체 첫 회의를 열고 협력방안을 논의한다고 밝혔다.
'반도체 초순수 생산공정 국산화 기술개발'은 일본 정부의 반도체 분야 수출규제 대응을 위해 환경부가 지원하는 사업이다. 반도체 공정에 사용되는 국내 초순수는 쿠리타와 노무라 등 일본기업이 설계 분야와 소재·부품 및 시공·운영 등에서 100% 시장을 점유한 상태다. 정부는 5개 과제에 총 480억원을 투입, 초순수 생산공정 국산화를 통해 해외 기술 의존을 벗어난다는 목표다.
유기물 자외선 산화장치, 용존산소 제거 탈기막 등 핵심기자재 개발에 56억원, 하루 2400톤 규모 실증플랜트 구축에 337억원, 초순수 인증평가 및 검증체계 마련 25억원, 반도체 폐수 재이용률 향상에 46억원 등이 지원된다.
초순수 시장은 설계, 시공, 운영 등을 포함해 2018년 기준 국내 시장은 약 1조원이다. 세계시장은 19조3000억원이다. 2024년에는 각각 1조4000억원, 23조1000억원 규모까지 성장이 예상된다. 국산화 기술개발과 실증화가 완료되면 국내시장은 물론 관련 물산업 해외시장 진출까지 확대될 것으로 기대된다.
회의에서 연구개발사업을 관리하는 한국환경산업기술원은 2019년 9월 이후 초순수 생산공정 국산화 기술개발사업 이행안과 과제별 지원계획을 제시한다.
최근 실증설비 부지 제공이 결정된 기업은 정부 및 관계 기관에 대한 협조 요청사항을 전달할 예정이다. 수자원공사는 초순수 산업 활성화를 위한 협업방안, 설비 제작업체 씨제이케이얼라이언스는 국산화 및 사업화를 위한 향후 과제에 대해 제언한다.
송용권 환경부 물산업협력과장은 “반도체 초순수 기술개발을 통해 해외 기술·제품에 대한 의존을 벗어남과 동시에 관련 물산업 해외시장 진출의 교두보를 마련할 계획”이라고 밝혔다.
[표]초순수 국산화 기술개발 세부내용
이경민기자 kmlee@etnews.com
