나노박막 두께를 원자 크기(0.1㎚)의 100분의 2수준까지 측정할 수 있는 기술이 개발됐다.
한국표준과학연구원(KRISS, 원장 강대임) 나노측정센터 제갈원 박사 연구팀은 나노박막의 두께를 1조분의 2m인 0.002㎚ 수준까지 측정할 수 있는 세계 최고 수준의 다채널 분광타원계측기 개발에 성공했다고 3일 밝혔다.
다채널 분광타원계측기는 반도체, 디스플레이, 태양광 박막소자 분야에서 박막 두께를 실시간으로 측정하는 장비다. 생산 라인당 20대 이상이 필요하다.
연구팀은 실험에서 비파괴방식으로 3㎚ 두께의 이산화규소 박막시편을 0.002㎚ 정밀도로 측정했다.
현재 산업체에서 요구하고 있는 분광타원계측기의 정밀도는 0.01㎚ 수준이다. 지경부에서 발간한 `신 성장 동력 장비개발 로드맵`에 의하면 오는 2016년께는 0.008㎚ 이하의 정밀도가 요구된다.
제갈원 박사는 “독자적으로 개발한 3개의 편광자 구조를 이용해 오차를 줄일 수 있었다”며 “현재 장치 업그레이드 작업을 수행 중”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.com
