나노팹센터, 올해만 이용수입 105억원 달성

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나노종합팹이 국가나노기술 핵심인프라로서 2단계 도약을 위한 성장기반을 확보했다. 사진은 연구원들이 웨이퍼의 불량을 검사하고 있다.
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 나노종합팹센터(소장 이귀로·이하 나노팹)는 국내 공공연구개발 지원기관으로는 처음으로 105억원의 이용수입을 올렸다고 28일 밝혔다.

 국내 공공연구개발 지원기관 가운데 100억원이 넘는 수익을 올린 기관은 아직까지없다.

 나노팹은 지난 2002년부터 올해까지 정부 1123억5000만원, 민간 1110억원 등 총 2233억원이 투입됐고, 내년 정부지원이 종료된다.

 나노팹에 따르면 연간 이용자 수는 2005년 499명에서 올해 1703명으로 3.4배 증가했다. 누적 이용자수는 4053명이다. 이용수입은 2005년 11억5000만원에서 2010년 12월 105억원으로 8.7배의 증가했다.

 이는 미국의 대표 나노시설인 CNF(코넬대)와 스탠퍼드 나노팹의 연간 이용자가 600~700명, 하버드대 800명 등과 비교할때 상당히 높은 활용도다.

 또 이용자도 학계 50%, 연구계 18%, 산업계 32% 등으로 기초원천분야에서 실용화, 산업화까지 다양하게 분포돼 있다.

 이귀로 소장은 “팹이 CMOS 공정플랫폼과 세계 첫 3차원 집적회로 상용화 기술, 차세대 퓨전메모리 등을 개발했다”고 설명했다.

 나노팹은 또 멤레지스터라는 새로운 개념의 아날로그 회로 소자로 주목받고 있는 저항변화메모리(ReRAM)의 원천기술을 광주과학기술원(황현상 교수)과 공동 개발했다.

 기술사업화 부문에선 엔씨디 및 나노람다 등과 ALD(반도체 원자층 증착장비) 및 50㎚급 분광센서를 개발해 해외시장 진출에 드라이브를 걸고 있다.

 나노팹은 현재 세계 최고 수준의 납기준수 공정서비스를 제공하기 위해 밤 10시까지 근무하는 1.5 시프트체제를 구축했다. 또 원스톱서비스와 24시간 내 확인 서비스, 품질경영시스템, CRMS(고객대응시스템), LTS(로트 실시간 관리시스템) 등을 가동중이다.

 이 소장은 "글로벌 고부가가치 틈새 기술과 서비스를 적극 발굴해, 적어도 30년 이상 지속될 수 있는 국가적 나노 인프라 지원기관의 성공적 모델을 보여줄 것"이라고 말했다.

 

대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr

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