국내 연구진이 세계 최초로 반도체·LED·인쇄회로기판(PCB) 등의 나노(㎚)급 3차원 형상을 기존보다 2.5배 넓은 시야범위로 측정할 수 있는 간섭계(interferometer)용 대물렌즈를 개발하는데 성공했다. 간섭계는 광파의 간섭현상을 이용해 표면 등 제품 상태와 정보를 측정하는 장치다.
한국산업기술대학교(총장 최준영) 나노-광공학과 정미숙 교수팀은 광학측정기 제조업체 에이앤아이(대표 박병해)와 공동 연구로 기존 외국산 간섭계 대물렌즈(2.5배)보다 배율을 획기적으로 낮춰 검사 및 측정범위를 확대한 ‘1배 간섭계용 대물렌즈’를 개발했다고 21일 밝혔다. 연구팀은 빠르면 오는 11월부터 양산에 들어갈 계획이다.
이번에 개발한 렌즈는 관측시야가 좁아 측정범위를 여러 구간으로 분할해 작업해야 했던 기존 제품의 한계를 극복한 것으로, 배율을 1배로 낮춰 전체 형상을 한 번에 관측할 수 있도록 넓은 시야범위를 구현한 것이 특징이다. 측정 및 검사작업 소요시간을 최대 6배까지 단축할 수 있고, 제작비도 기존 수입제품에 비해 50%가량 줄일 수 있다. 특히 여러 장의 렌즈로 구성된 간섭계용 대물렌즈는 명암도를 크게 높임으로써 측정 성능이 기존 제품보다 뛰어난 것으로 나타났다.
정미숙 교수는 “같은 성능을 가지면서 간섭계용 대물렌즈의 시야범위를 넓게 가져갈 수 있게 한 것이 핵심”이라며 “앞으로 국내에서 양산이 본격화되면 성능과 가격면에서 경쟁력을 갖춘 국산 간섭계용 대물렌즈가 수입제품을 대체할 것으로 기대된다”고 말했다.
권건호기자 wingh1@etnews.co.kr
