한국기계연구원은 13일 미세 반도체 소자 및 나노소재의 전기적 특성을 측정하는 현미경 탐침(Microscopy tip)에 나노와이어를 이용한 기술을 개발했다고 밝혔다.
한국기계연구원(원장 이 상천) 나노융합기계연구본부 한창수 박사(연구책임자)와 김준동 박사(실무책임자)는 교육과학기술부의 21세기 프론티어 연구사업인 나노메카트로닉스 사업단의 지원을 받아 전도성 나노와이어를 이용하여 나노 구조물에 대한 표면 및 전자기 정보를 동시에 얻을 수 있는 기술을 개발했다. 이 기술은 기존 현미경 탐침 제작에 필요한 고비용의 진공 조건과 여러 단계의 미세 가공 및 공정을 생략할 수 있어, 저비용으로 미세 구조물에 대한 전기·자기의 정보를 얻을 수 있는 것이 특징이다.
이번에 개발된 나노소재를 적용한 기능성 나노 소재 현미경 탐침 기술은 머리카락의 1000분의1∼10000분의1 크기의 나노와이어(Nanowire)를 현미경 탐침으로 이용한 것으로, 요소 기술인 전계(Electric field)를 이용하여 나노와이어를 위치시키는 방식이다.
이 기술은 상압에서 제작 가능하면서도, 공정의 단축을 통해 제작 비용을 기존에 비해 10분의1 정도 획기적으로 절감할 수 있다고 연구원 측은 설명했다.
기계연구원 김준동 박사는 “나노와이어를 이용하여 나노와이어 구조체에 대한 표면 및 전기 정보를 얻은 것은 이번이 세계에서 첫 번째라고 판단된다”며 “이 기술은 학문적으로는 기능성 나노 소재를 이용한 나노 구조체를 실현한 것으로 나노 소재를 이용한 기능성 구조체(Functional nanostructure)의 제작과 적용을 확인한 것”이라고 말했다.
서동규기자 dkseo@etnews.co.kr
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