반도체 소부장

유니셈,차세대 반도체 장비 스크러버 개발 나서

유니셈이 한국산업기술평가원으로부터 ATC신규과제지원 대상업체로 지정받았다고 밝혔다.

이를 계기로 유니셈은 앞으로 정부지원금 14억원을 포함해 총 28억원을 투입해 차세대 반도체/FPD공정장비인 Scrubber를 개발할 계획이다.

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