반도체 소부장

코닉시스템, 레이너 어닐링 장치 특허취득

전자신문을 선호 매체로 추가

코닉시스템은 불활성 가스 분위기 형성장치 및 이를 이용한 레이저 어닐링 장치에 대한 특허를 취득했다고 22일 공시했다.

해당 기술은 진공을 형성하지 않고도 불활성 가스 분위기에서 레이저 어닐링을 수행할 수 있어 공정시간이 짧고 기판의 결정화가 잘 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 레이저 어닐링 장치를 제공한다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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