ASM제니텍코리아, 신제품 ALD 장비 개발

　ASM제니텍코리아(대표 고상우)는 기존 원자층증착(ALD) 장비 ‘스텔라’ 대비 웨이퍼 처리 생산성을 4배 높인 ALD ‘MIR 3000시리즈’를 개발했다고 7일 밝혔다. ASM제니텍코리아는 네덜란드 ASM이 지난 ’04년 국내 ALD 기업인 제니텍을 인수하면서 출범한 회사이다.

ASM제니텍코리아의 ‘MIR 3000 시리즈’는 2개 챔버에 반응기(Reactor) 4개를 내장, 8장의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있다. 특히 이 회사의 측면 접이식 반응기(Folded Lateral Type Reactor)는 매엽식 장치가 보유한 우수한 공정특성을 유지하면서도 배치 타입 설비의 높은 생산성을 동시에 가질 수 있는 게 장점이다.

이 회사의 측면 접이식 반응기는 세계에서 가장 작게 설계, 기존에 출시된 ALD 장치와 비교해도 빠른 스위칭 타임을 유지한다. 따라서 짧은 공정 시간과 8매 웨이퍼의 동시 처리 방식이 결합, 세계 어떠한 장비보다고 빠른 throughput을 유지할 수 있다고 회사 측은 설명했다.

이 회사는 AMIR 3000 시리즈에 PEALD(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 기술을 접목했다. 이 회사 원천 기술인 PEALD는 다양한 공정 윈도 제공, 제거(purge)시간 단축, 플라즈마 점화 등 영역에 국한한 필름 증착 기술로 입자(particle) 특성이 매우 우수해 까다로운 공정 요구 사항을 만족시킨다.

이 회사 유용민 상무는 “신제품은 기존 ALD 장치가 맡아왔던 캐퍼시터 및 게이트용 하이-k 물질 증착 뿐 아니라 이중패터닝기술(Double Patterning Technology) 용 스페이스막·저온 산화(oxide)용 공정에 대해서도 우수한 생산성을 보인다”며 “연간 수백억 이상의 수입 대체 효과도 기대한다”고 말했다.

안수민기자 smahn@