이한보람 포스텍 박사과정 우수논문상 수상

　이한보람 포스텍 박사과정 학생이 제15회 한국반도체학술대회에서 소비전력이 상대적으로 적은 우수한 성능의 ‘에피택셜 코발트 실리사이드(Epitaxial Cobalt Silicide)’ 형성 기술로 우수논문 기업체상(삼성상)을 수상했다.

　실리사이드는 반도체의 전극에 사용되는 물질로, 그는 플라즈마 질화법을 이용한 에피 택시 방법을 사용해 원자단위까지 잘 정렬된 에피택셜 코발트 실리사이드를 형성했다. 이 씨의 연구 성과는 앞으로 노트북과 PDA 등 휴대용 기기의 소비전력을 줄여주는데 획기적인 역할을 할 것으로 기대된다.

한편, 한국반도체학술대회에는 총 459편의 논문이 발표됐으며 이 가운데 10편의 논문이 상을 받았다.

포항=정재훈기자 jhoon@